| Titel | Rolle | Status | Datum | Hersteller | Zuschlagswert |
|---|---|---|---|---|---|
| Atomic-Layer-Deposition (ALD) Modul | Gewinner | awarded | 13.03.2026 | - | 1,00 EUR |
| Chlor ICP mit ALE Erweiterung (IAF-07a.1 - PR1011457-2050-P | Gewinner | awarded | 30.01.2026 | - | - |
| XY- Infrarotthermometrie System NRE und Positioniereinheit XY-Thermometriesystem. | Gewinner | awarded | 15.01.2026 | - | 145.134,00 EUR |