| Los | Titel | Auftragnehmer | Schaetzwert | Vergabewert |
|---|---|---|---|---|
| 1 | Atomic-Layer-Deposition (ALD) Modul | — | 1 |
| Los | Titel | Auftragnehmer | Schaetzwert | Vergabewert |
|---|---|---|---|---|
| 1 | Chlor ICP mit ALE Erweiterung (IAF-07a.1 - PR1011457-2050-P | — | — |
| Los | Titel | Auftragnehmer | Schaetzwert | Vergabewert |
|---|---|---|---|---|
| 1 | XY- Infrarotthermometrie System NRE und Positioniereinheit XY-Thermometriesystem. | — | 145.134 |