| Los | Titel | Auftragnehmer | Schaetzwert | Vergabewert |
|---|---|---|---|---|
| 1 | CD-SEM Measurement System (IPMS-MRS03.1) - PR884397-2480-P | — | — |
| Los | Titel | Auftragnehmer | Schaetzwert | Vergabewert |
|---|---|---|---|---|
| 1 | Raider Edge Plating Upgrade (IPMS-CNT12.01; IPMS-CNT12.02; IPMS-CNT12.03; IPMS-CNT12.04) - PR873511-2480-P | — | — |
| Los | Titel | Auftragnehmer | Schaetzwert | Vergabewert |
|---|---|---|---|---|
| 1 | CMP Upgrade Reflexion 3 (IPMS-CNT11.1) - PR880735-2480-P | — | — |