1 Stück Raider Edge Plating Upgrade Upgrade einer bestehenden AMAT Raider Edge 300 mm Waferplattierungsplattform in der Reinraum-Produktionsumgebung am Fraunhofer IPMS-CNT inkl. Wafer Pre-Aligner (IPMS-CNT12.01), Precision Drive Head Upgrade der CFD3LM Kammer (IPMS-CNT12.02; optionale Leistungsposition), Velocity Chamber (IPMS-CNT12.03; optionale Leistungsposition) und SRD Chamber Upgrade (IPMS-CNT12.04). Optionale Leistungspositionen: 4.7.2 Erweiterte Garantie Bitte bieten Sie eine erweiterte Garantie von weiteren 24 Monaten an YES 5.1.1 Anforderungspositionen Satz von Verbrauchsmaterialien für die Prozessabnahme: Filter, VMS, Additive YES (bitte angeben) 5.1.2 Bedarfsartikel Prozessoptimierungssoftware für CFD3M-Kammer und Raptor-Kammer YES (bitte angeben) 5.2 Precision Drive Head Upgrade der CFD3LM Kammer (IPMS-CNT12.02) Optionale Angebotsposition: Wenn der Artikel angeboten wird, muss er die Spezifikationen von Abschnitt 5.2 und 4.2 erfüllen 5.3 Velocity Chamber (IPMS-CNT12.03) Optionale Angebotsposition Wenn der Artikel angeboten wird, muss er die Spezifikationen von Abschnitt 5.3 und 4.2 erfüllen