1 CD-SEM Measurement System Anforderungen für die Top-Down-Messung kritischer Abmessungen von Linien/Zwischenräumen, Löchern/Spalten und anderen feinen Merkmalen, wie z. B. längliche Hile-/Säulenmuster, die während der Waferherstellung auf Halbleiterwafern gebildet werden, unter Verwendung eines CD-SEM mit hohem Durchsatz. Das System wird für die Bearbeitung von MEMS-Wafern in einer CMOS-kompatiblen Clean-Room-Klasse 10 (ca. ISO 4) Produktionsumgebung eingesetzt. Optionale Leistungspositionen: 1.15 Allgemeine Anforderungen Das System ist mit einer unterbrechungsfreien Stromversorgung (USV) ausgestattet. Ja 3.3 Messsystem "Das rückführbare zertifizierte Normal ist Bestandteil der Lieferung. Die Kalibrierungen sind zum Zeitpunkt der Auslieferung nicht älter als 20% des empfohlenen Kalibrierintervalls. Hinweis: Ein rückführbares zertifiziertes Normal kann vom Lieferanten zur Verfügung gestellt werden. Ansonsten stellt das Fraunhofer IPMS ein VLSI-zertifiziertes Normal zur Verfügung." Ja 4.16 Prozess Das System ist in der Lage, 3D-Messungen mit einem geneigten Strahl durchzuführen. Ja 4.17 Prozess Das System kann rückgestreute Elektronen (BSE) erkennen und sichtbar machen. Es ist möglich, CD-Messungen an dem BSE-Bild durchzuführen. Ja 8.2 Optionale Werkzeugeigenschaften Bitte geben Sie ein Angebot für einen Satz von Verbrauchsmaterialien (Lampen, O-Ringe, Ventile usw.) ab. Ja 8.4 Optionale Werkzeugeigenschaften Bitte erstellen Sie ein separates Angebot für typische Ersatzteile wie Achsengeber, Laserinterferometer, etc. Ja 11.4 Verlängerte Gewährleistung Es sollte eine verlängerte Gewährleistung ab dem Datum angeboten werden, an dem die gesetzliche Gewährleistung abläuft. Eine erweiterte Gewährleistung von weiteren 12 Monaten sollte angeboten werden. Während der Gewährleistungszeit sollten alle Kosten für Support, Reparatur und Ersatzteile abgedeckt sein. 12 Monate