Cluster_ALD_PECVD_ICP-CVD (IAF-05.1/05.2/05.3/05.4/05.5) - PR1036076-2050-P

Cluster_ALD_PECVD_ICP-CVD (IAF-05.1/05.2/05.3/05.4/05.5) - PR1036076-2050-P active

Auftraggeber

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12

Veroeffentlicht

26.01.2026

Frist

13.02.2026 00:00

Art

cn-standard

Geschaetzter Wert

Land

Region (NUTS)

DE131 (Baden-Wuerttemberg)

CPV-Codes

Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke

Quelle

ted_europa | Auf TED ansehen

Notice ID

54070-2026

Beschreibung

1 Stück Cluster_ALD_PECVD_ICP-CVD Das Fraunhofer IAF plant die Anschaffung eines Clustersystems mit ALD-, PECVD- und ICP-CVD-Abscheidungskammer. Das System soll für die Bearbeitung von 150-mm-Wafern geeignet sein.