Die Friedrich-Schiller-Universität Jena möchte zur Inspektion von Lack- und Wellenleiterstrukturen auf photonischen integrierten Schaltkreisen (PIC) in Lithiumniobat auf Siliziumsubstraten ein (1) Lichtmikroskop beschaffen. Das Mikroskop soll für die schnelle Inspektion zwischen Prozessschritten durch wechselnde Nutzer optimiert sein und die Messung charakteristischer Längen sowie Prüfung typischer Fehlerbilder (Partikel, Lack- und Schichtfehler) ermöglichen. Die technischen Leistungsparameter gem. Anlage 2 sind mindestens zu erfüllen.