Am Fraunhofer-Center für Silizium-Photovoltaik CSP wird seit 2008 ein hochauflösendes ICP-Massenspektrometer betrieben, welches im Jahr 2019 durch ein Triple-Quadrupol-ICP-Massenspektrometer ergänzt wurde. Es werden vorranging Proben aus den Bereichen Photovoltaik und Halbleiter nach chemischem Aufschluss oder entsprechender Oberflächenanalyse auf ihre Spurenelementgehalte untersucht. Das Altgerät von 2008 soll durch ein neues hochauflösendes ICP-Massenspektrometer ersetzt werden.